由于每家硅片企業的等級標準都不一樣，以下標準針對的硅片厚度為220μm，僅供參考。

硅片優等品

1.硅片表面光滑潔凈。 2.TV：220±20μm。 3.幾何尺寸：邊長125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm; 邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1mm。垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.3.

硅片合格品

硅片一級品：1.表面有少許污漬、輕微線痕。2.220±20μm≤TV≤220±30μm。3.幾何尺寸：邊長125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm; 邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5.cheapradiishoes。

硅片二級品：1.表面有少許污漬、線痕、凹痕，輕微崩邊。2.220±30μm≤TV≤220±40μm。3.凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。4.崩邊范圍：崩邊口不是三角形狀，崩邊口長度≤1mm，深度≤0.5mm。5.幾何尺寸：邊長125±0.52mm;對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm; 邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm; 邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm。垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.8.

硅片三級品：1.表面有油污但硅片顏色不發黑，有線痕和硅落現象。2.220±40μm≤TV≤220±60μm。3.硅落：整張硅片邊緣硅晶脫落或部分硅晶脫落。

硅片不合格品

a.嚴重線痕、厚薄片：TV>220±60μm。b.崩邊片：有缺損但可以改Φ103的硅片。c.氣孔片：硅片中間有穿孔。d.外形片：切方滾圓未能磨出的硅片。e.倒角片(同心度)：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。f.菱形片(垂直度)：任意兩邊的夾角>90°±0.8.g.凹痕片：硅片兩面凹痕之和>30μm。h.臟片：硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑。i.尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的范圍。