由于每家硅片企業的等級標準都不一樣,以下標準針對的硅片厚度為220μm,僅供參考。
硅片優等品
1.硅片表面光滑潔凈。 2.TV:220±20μm。 3.幾何尺寸:邊長125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm; 邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度:任意兩個弧的弦長之差≤1mm。垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.3.
硅片合格品
硅片一級品:1.表面有少許污漬、輕微線痕。2.220±20μm≤TV≤220±30μm。3.幾何尺寸:邊長125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm; 邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。同心度:任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.5.cheapradiishoes。
硅片二級品:1.表面有少許污漬、線痕、凹痕,輕微崩邊。2.220±30μm≤TV≤220±40μm。3.凹痕:硅片表面凹痕之和≤30μm。4.崩邊范圍:崩邊口不是三角形狀,崩邊口長度≤1mm,深度≤0.5mm。5.幾何尺寸:邊長125±0.52mm;對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm; 邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm; 邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。同心度:任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm。垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.8.
硅片三級品:1.表面有油污但硅片顏色不發黑,有線痕和硅落現象。2.220±40μm≤TV≤220±60μm。3.硅落:整張硅片邊緣硅晶脫落或部分硅晶脫落。
硅片不合格品
a.嚴重線痕、厚薄片:TV>220±60μm。b.崩邊片:有缺損但可以改Φ103的硅片。c.氣孔片:硅片中間有穿孔。d.外形片:切方滾圓未能磨出的硅片。e.倒角片(同心度):任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。f.菱形片(垂直度):任意兩邊的夾角>90°±0.8.g.凹痕片:硅片兩面凹痕之和>30μm。h.臟片:硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑。i.尺寸偏差片:幾何尺寸超過二級品的范圍。